1、真空爐真空系統滑閥泵維修方案：檢查滑閥泵內部部件配合間隙磨損情況，滑閥泵的軸頭密封圈是否漏油，排氣裝置的排氣閥片的密封情況，真空油路密封情況，真空泵油是否污染及測試滑閥泵的極限真空度。
　　2、真空爐真空系統羅茨泵維修方案：檢測羅茨泵轉子與轉子之間、轉子與泵腔內壁之間的間隙，檢查齒輪及軸承磨損情況，羅茨泵的軸頭密封圈情況，羅茨泵兩端的潤滑油是否污染及測試羅茨泵的極限真空度。
　　3、真空爐真空系統中擴散泵維修方案：檢查泵芯各級噴嘴的位置和間隙是否正確，泵的加熱功率及泵的自身冷卻效果是否正常，擴散泵油是否氧化，擴散泵的油量是否滿足要求。對擴散泵及與之連接的管道與閥門、真空測量點、冷阱等密封處進行檢漏。測試擴散泵的極限真空度。檢查真空爐擴散泵進出水溫度，流量。許多單位由于冷卻水有水垢造成擴散泵冷卻效果不好，造成真空度滿足不了技術指標要求。也可增加冷水機組。
　　4、爐體外部漏氣部位維修方案：對爐門密封、主閥閥桿密封、氣動球閥閥桿密封、放氣閥閥芯密封、防爆閥閥芯密封、預抽閥閥桿密封、熱電偶密封和加熱電極密封等處密封進行檢漏。
　　5、真空爐體內部放氣維修方案：對真空爐體內部適當加熱，使爐體內部吸附的氣體釋放出來而被抽走。抽真空的同時將氬、氮氣充入爐體，使部分揮發物及吸附氣體隨著氬、氮氣一起被抽走。再用酒精擦洗爐體的內壁，清除吸附物，減少放氣量。長時間對爐室抽真空，使爐室表面放氣減至下限。