1、真空爐爐體外部容易漏氣的位置有：爐門密封、主閥閥桿密封、氣動球閥閥桿密封、放氣閥閥芯密封、防爆閥閥芯密封、預抽閥閥桿密封、熱電偶密封、加熱電極密封等。
　　2、真空爐體內壁外表放氣。
　　3、真空爐室夾層（包括爐門夾層）及氣體冷卻系統的水管漏水。
　　4、預抽閥的閥體內部漏氣，充氣組閥中充氣閥（高真空氣動碟閥）、補氣閥、分壓組閥（減壓閥、微調閥、電磁閥）內部漏氣。